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  • 微光学和纳米光学制造技术

    本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、*的制造工艺,重点强调了关键性的专业技巧,提供了*的技术信息,内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维(3D)光子晶体的制造—钨成型法。本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家,代表了当今微光学加工的领先水平。本书可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和光机结构设计(尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究)的工程师使用,也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。

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